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上海茂鑫實業(yè)
Shanghai Maoxin industry專注光學(xué)儀器
德國徠卡LEICA顯微鏡尼康發(fā)布CNC影像測量系統(tǒng)全新機(jī)型「NEXIV VMZ-S3020」
適合車載電子、半導(dǎo)體零部件的NEXIV新系列
「NEXIV VMZ-S3020」
尼康株式會社（社長：馬立 稔和、東京都港區(qū) ）之子公司，Nikon Solution株式會社（社長：園田 晴久、東京都品川區(qū)），針對電子、半導(dǎo)體等精密零部件開發(fā)了CNC影像測量系統(tǒng)全新「NEXIV VMZ-S」系列，第一彈發(fā)售「NEXIV VMZ-S3020」。
CNC影像測量系統(tǒng)「NEXIV」是運用尼康*的光學(xué)技術(shù)和圖像處理技術(shù)，可自動測量電子、半導(dǎo)體零部件的裝置。通過圖像分析與高速準(zhǔn)確的邊緣檢測，對于復(fù)雜特殊形狀的被檢物品也能夠快速地進(jìn)行測量。此次發(fā)售的「NEXIV VMZ-S」系列產(chǎn)品不僅保持了以往機(jī)型「NEXIV VMZ-R」系列產(chǎn)品的精度，還實現(xiàn)了更高的產(chǎn)能。
「NEXIV VMZ-S3020」將出展「JIMTOF 2020 Online」（2020年11月16日～12月11日）在線展會。
另外，大尺寸載物臺機(jī)型「NEXIV VMZ-S4540」以及「NEXIV VMZ-S6555」也在開發(fā)中，預(yù)計于2021年下半年依次發(fā)售。
發(fā)售概要
| 產(chǎn)品名 | CNC影像測量系統(tǒng)「NEXIV VMZ-S3020」 |
|---|---|
| 訂單接受時間 | 2020年11月12日 |
*開始發(fā)貨時間為2021年1月。
開發(fā)的由來
近年來，汽車行業(yè)在自動駕駛與電動汽車市場擴(kuò)大的背景下，電氣化極速發(fā)展，用于汽車的電子、半導(dǎo)體零部件不斷增加。由于關(guān)乎生命安全，所以采用的零件也需要非常嚴(yán)格的品質(zhì)管控，對測量設(shè)備的要求也隨之提高。所以，尼康研發(fā)并推出了適合于車載電子、半導(dǎo)體零部件等測量用途的CNC影像測量系統(tǒng)「NEXIV VMZ-S」系列。
主要特長
1.高產(chǎn)能
「NEXIV VMZ-S3020」在高精度線性光柵尺和精密載物臺提供高精度測量的同時，通過載物臺移動和圖像處理的高速化，與以往機(jī)型「NEXIV VMZ-R」系列產(chǎn)品相比實現(xiàn)了更高的產(chǎn)能。保證了客戶*的精度和再現(xiàn)性，縮短了測量時間。
2.高品質(zhì)圖像，高精度測量
通過無失真的高品質(zhì)圖像，即使不在視場中心附近也能得到可靠的測量結(jié)果。另外，根據(jù)被檢測物品的形狀通過同軸表面光、底部透射光、8個扇面環(huán)形光的選擇與光量?照射方向的調(diào)整，可以敏銳的捕捉到難以檢測的邊緣。而且，通過1000點/秒的高速激光掃描，可以取得樣品的截面形狀，也可以對應(yīng)高度方向的形狀評價。滿足各種各樣零部件的測量需求。
3. 非凡的實用性
通過系列產(chǎn)品通用的尺寸測量軟件「NEXIV AutoMeasure」，可以暢快有效地進(jìn)行尺寸測量。另外，以簡單形狀為對象，增加了將測量程序制作工序的一部分自動化的功能。
而且，為了滿足使用NEXIV系列顧客的要求，用于操控載物臺和測量頭移動的操縱桿單元，運用了更易操作的設(shè)計。
主要規(guī)格
| 量程 (X × Y × Z) | 300 × 200 × 200 mm（TZ型 使用低倍物鏡時：250 × 200 × 200 mm） |
|---|---|
| 最小讀數(shù) | 0.01 μm |
| 最大承載重量 | 20 kg（保證精度的載重：5 kg） |
| 測量精度 (L為測量長度(㎜)) | EUX,MPE, EUY,MPE（X軸、Y軸精度）：1.2 + 4L/1000 μm EUXY,MPE?。╔Y軸精度）：2.0 + 4L/1000 μm EUZ,MPE （Z軸精度） ：1.2 + 5L/1000 μm |
| 相機(jī) | 黑白/彩色 1/3英寸CMOS |
| 變焦鏡頭型號 * (倍率?視場) | ?1型： （0.5～7.5x ? 9.33 x 7 ～ 0.622 x 0.467 mm） ?2型： （1～15x ? 4.67 x 3.5 ～ 0.311 x 0.233 mm） ?3型： （2～30x ? 2.33 x 1.75 ～ 0.155 x 0.117 mm） ?4型： （4～60x ? 1.17 x 0.88 ～ 0.078 x 0.058 mm） ?TZ型 ：（1～120x ? 4.67 x 3.5 ～ 0.039 x 0.029 mm） ?A型： （0.35～3.5x ? 13.3 x 10 ～ 1.33 x 1 mm） |
| 自動對焦 | 激光自動對焦（A型是選配）、圖像自動對焦 |
| 燈光* | ?1～4型: 同軸表面光、底部透射光、8個扇面的環(huán)形光 （全部采用白色LED光源/1, 2, 3型3種角度、4型1種角度） ?TZ型: 同軸表面光、底部光（VMZ-S3020的低倍除外）、暗場照明 ?A型: 同軸表面光、底部光、8個扇面的環(huán)形光 （全部采用白色LED光源/1種角度） |
| 電源規(guī)格 / 額定電流 | AC100-240V、50/60Hz / 4A – 2A |
| 尺寸 (W×D×H/重量) | 本體+底座: 700 × 730 × 1793 mm / 約265 kg 控制箱: 190 × 450 × 450 mm / 約12 kg |
| 占地大小(W×D) | 2700 × 2400 mm |
*根據(jù)應(yīng)用的不同，有6種鏡頭型號可供選擇。不同型號鏡頭所配備的燈光照明系統(tǒng)也會有所不同。
